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形状測定装置

形状測定装置の記事一覧

全2件中 1〜2件目を表示

  • 産総研，大口径で高精度な平面形状測定装置開発

    産業技術総合研究所（産総研）の研究グループは，直径600mmまでの平面基板をnmレベルの絶対精度で凹凸を測定できる形状測定装置の開発に世界で初めて成功した（ニュースリリース）。 今回用いた技術は，物体表面の局所的な角度分...

    2020.02.06

  • 日本レーザー，新型3D測定顕微鏡を発売

    日本レーザーは，スペインSensofar Metrologyの光学式形状測定装置「S neox」の第5世代となる新型モデルを発売した（ニュースリリース）。価格は約1,500万円（税抜）。 「S neox」は，レーザー顕微...

    2019.04.09

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