ベッセルビーム

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  • 理研ら,高アスペクト比シリコン貫通穴をレーザーで作製

    理化学研究所(理研),中国科学院(SIOM)上海光学精密機械研究所の国際共同研究チームは,最適化した「フェムト秒ベッセルビーム」を用いて,次世代の3次元シリコン大規模集積回路(SiLSI)の高集積化・高速度化につながる高...

    2017.01.19

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