4. おわりに
現行の酸化インジウム系TCOの課題について言及し，筆者がこれまでの研究で蓄積してきたドーパントのイオン半径およびルイス酸強度に関する概念を適用する解決方策としてB原子に着目した。開発したBドープIn2O3により，可視光領域の平均透過率を従来ITOに対して10％向上させた。XRDスペクトルの解析結果から，B原子はIn2O3マトリックスに固溶しており，ビックスバイト構造のIn2O3に局所的な収縮歪みを引き起こしていることがわかった。
導電膜としての抵抗率は1.1×10–3 Ωcmであったが，現時点では，ドーパント含有量，スパッタ成膜およびアニール条件の最適化が不十分であることから，今後の条件調整によりさらなる低抵抗化が期待できる。また，IZOで問題となっていたZnを用いていないため，薬品耐性と高温での安定性向上が可能である。本提案材料は，他のITO代替材料と異なり，原料の置き換えだけで既存のITOコンパチブルなプロセスがそのまま使えることが特徴である。
2）T. Minami, Thin Solid Films 516, 5822 (2008).
3）A. Walsh, J. L. F. Da Silva, S. -H. Wei, C. Körber, A. Klein, L. F. J. Piper, A. DeMasi, K. E. Smith, G. Panaccione, P. Torelli, D. J. Payne, A. Bourlange, and R. G. Egdell, Phys. Rev. Lett. 100, 167402 (2008).
4）J. C. C. Fan and J. B. Goodenough, J. Appl. Phys. 48, 3524 (1977).
5）G. Frank, E. Kauer, and H. Köstlin, Thin Solid Films 77, 107 (1981).
6）澤田豊：透明導電膜 (CMC Publishing Co., Ltd, 2007).
7）南内嗣，光学 34, 326 (2005).
8）原田幸明：元素戦略アウトルック〜材料と全面代替戦略（物質・材料研究機構, 2007）.
9）K. Ellmer and R. Mientus, Thin Solid Films 516, 4620 (2008).
10）F. Utsuno, H. Inoue, I. Yasui, Y. Shimane, S. Tomai, S. Matsuzaki, K. Inoue, I. Hirosawa, M. Sato, and T. Honma, Thin Solid Films 496, 95 (2006).
11）水橋衞, J. Vac. Soc. Jpn. 51, 599 (2008).
12）N. Mitoma, S. Aikawa, W. Ou-Yang, X. Gao, T. Kizu, M. -F. Lin, A. Fujiwara, T. Nabatame, and K. Tsukagoshi, Appl. Phys. Lett. 106, 042106 (2015).
13）R. D. Shannon, Acta Crystallogr. 32, 751 (1976).
14）Y. Zhang, Inorg. Chem. 21, 3889 (1982).
15）Y. -R. Luo: Comprehensive Handbook of Chemical Bond Energies (CRC Press, 2007).
16）N. Mitoma, B. Da, H. Yoshikawa, T. Nabatame, M. Takahashi, K. Ito, T. Kizu, A. Fujiwara, and K. Tsukagoshi, Appl. Phys. Lett. 109, 221903 (2016).
17）J. Kaczmarski, T. Boll, M. A. Borysiewicz, A. Taube, M. Thuvander, J. Y. Law, E. Kamińska, and K. Stiller, Thin Solid Films 608, 57 (2016).
18）D. B. Buchholz, Q. Ma, D. Alducin, A. Ponce, M. Jose-Yacaman, R. Khanal, J. E. Medvedeva, and R. P. Chang, Chem. Mater. 26, 5401 (2014).
■Associate Professor, Department of Electrical and Electronic Engineering, Kogakuin University
（月刊OPTRONICS 2019年6月号）
このコーナーの研究は技術移転を目指すものが中心で，実用化に向けた共同研究パートナーを求めています。掲載した研究に興味があり，執筆者とコンタクトを希望される方は編集部までご連絡ください。 また，このコーナーへの掲載を希望する研究をお持ちの若手研究者注）も随時募集しております。こちらもご連絡をお待ちしております。 月刊OPTRONICS編集部メールアドレス：editor@optronics.co.jp 注）若手研究者とは概ね40歳くらいまでを想定していますが，まずはお問い合わせください。
