キヤノンマーケティングジャパン（キヤノンMJ）は，国内独占販売契約を締結している米Sigray製で，最高空間分解能300nmを実現したナノX線CT装置「EclipseXRM-900」を，2023年12月15日より発売したと発表した（ニュースリリース）。価格は，2～3億円（装置構成や為替レートによる）。

生成AIや自動運転，メタバースなど膨大なデータ処理に必要な演算能力を向上させるために，半導体の微細化が進められてきた。一方，昨今では微細化とともに，チップレットと呼ばれる集積技術により性能の向上が図られている。

しかし，チップレット技術を用いた半導体部品は，金属材料と高分子材料（樹脂材料）が3次元の積層構造になっており，これらの材料はX線吸収率が大きく異なるため，故障解析や研究開発における非破壊分析において精度高く測定することが困難な場合があった。

この新製品は，Sigrayが特許出願中である独自の装置機構により，最高空間分解能300nm実現している。さらに，最大100mmΦまでのサンプルにおいてサブミクロンレベルの空間分解能を達成している。これにより，X線源までの距離を長く取らなくてはならない大きなサンプルやin situセルにおいても，高い解像度での撮像を可能にしている。積層化された半導体の内部構造などでも，非破壊で高コントラストな可視化を実現するという。

またこの新製品は，最新のX線源と検出システムにより高倍率対物レンズを用いることなく300nmの空間分解能で測定できるため，より効率のよいデータ取得を可能にする。

同社では今後5年間で，この製品の50台以上の販売を目指すとしている。