ナイトライド，RGBの高効率マイクロLEDを開発

ナイトライド・セミコンダクターは，従来のマイクロ紫外線（UV）LEDピーク波長385nmに加えて，赤（R）LEDピーク波長620nm，緑（G）LEDピーク波長510nm，青（B）LEDピーク波長450nmの3種類の可視光のマイクロLEDの高効率発光に成功した（ニュースリリース）。

マイクロLEDディスプレーは，液晶（LCD）及び有機ELディスプレーの次世代ディスプレーとして，各国企業が開発を競っているが，マイクロLEDチップのコストと安定供給が課題になっている。

特に，赤色のLEDは，ガリウムひ素（GaAs）やガリウム燐（GaP）が，材料的に脆弱，屈折率が高いために光取り出し効率が低いといった理由で，マイクロチップ化することが困難なだけでなく，高効率化にも課題を抱えている。

同社は，マイクロUV-LEDで，赤，青，緑の3種類の蛍光体を励起する方法でディスプレーの開発を進めているが，今回，高度な結晶成長技術を応用して，赤色，青色，緑色InGaNマイクロLEDチップの量産技術の開発に成功した。チップサイズは赤色が24μm×48μm，緑と青は12μm×24μmとなっている。

これによりユーザーは，従来から進める，赤，青，緑のマイクロLEDチップを実装する方法で，マイクロLEDディスプレーの量産を実現できる。そこで同社は，マイクロLEDディスプレーを量産するにあたって，様々な波長，及びサイズのチップを試して最適なチップを選択できるよう，キットを販売する。価格は1セット：USD7000ドル若しくは日本円100万円。

MOCVD（有機金属気相成長）装置にてサファイア基板上に成長した，InGaN系LED波長620nm赤色LED，波長510nm緑色LED，波長450nm青色LEDの3種類のウエハーから切り出したブロック3枚に波長385nmのUVLEDのブロック1枚，合計4枚が1セットになる。

1ブロックのサイズは17mm×13mmで，マイクロチップサイズ12μｍ×24μｍから最大288μm×288μｍまでの9種類のサイズのマイクロチップが基板の上に載っているという（但し，赤色で発光する最小チップサイズは24µm×48µm，それ以下のサイズは非発光）。

量産にあたっては，最適な波長及びサイズのチップ1種類を，顧客の要望に応じて，4インチ若しくは6インチサファイア基板にエピウエハを成長して，マイクロLEDチッププロセス加工を行なうとしている。