SP,50Wグリーンピコ/UVフェムトレーザーを発売

米MKS Instrumentsは,グリーンピコ秒レーザーSpectra-Physics「IceFyre GR50 レーザー」と産業用フェムト秒レーザーSpectra-Physics「IceFyre FS UV50 レーザー」を発表した(ニュースリリース)。

このうち「IceFyre GR50レーザー」は,>50Wピコ秒グリーン高出力,超短パルス,および調整可能な繰返し周波数,フレキシブルにプログラム可能なTimeShift ps機能,パルスオンデマンドトリガーによる最適なプロセスを実現し,FR4,各種金属,セラミック,ガラス複合材料など非常に加工の難しい材料のマイクロマシニングに適している。

>50Wの平均出力と>100µJ のグリーンパルスエネルギーを出力,パルスオンデマンド(POD)および位置同期出力(PSO)トリガーを搭載,シングルショットから10MHzまでの繰返し周波数に対応する。TimeShift psプログラマブルパルス制御機能は,バースト中のパルス数制御,プログラミングによるバースト形状設定機能,バーストモードのパルスセパレーション設定機能に対応する。

It’s in the Box設計により,コントロールエレクトロニクス,レーザーダイオード,およびその他すべての重要なコンポーネントをコンパクトで軽量なレーザーヘッドに一体化している。頑丈でコンパクトなため,加工機に容易に搭載可能。24/7運転の製造環境にも対応するという。

アプリケーションとして,・OLED ディスプレー製造,・5G フレキシブルプリント回路切断,穴あけ・ITO 穴あけ,スクライビング・半導体関連のスクライビング,ダイシング・PCB 関連加工・セラミック切断,穴あけ,スクライビング・LED スクライビング,ダイシング,パターニング・太陽電池スクライビング,穴あけ・金属切断,穴あけ,マーキングを挙げている。

一方,「IceFyre FS UV50レーザー」はTimeShiftプログラマブルバーストモードを備え,シングルショットから3MHzまでの調整可能な繰返し周波数,フレキシブルなバーストモード運転を実現する。

要求の厳しい家庭用電化製品,クリーンエネルギー,医療用デバイス,および産業用アプリケーションに使われるポリマー,金属,半導体,薄膜,複合材料などの難加工材料において高スループットかつ極めて高い品質を要求されるマイクロマシニングに適しているという。

同じくIt’s in the Box設計により,レーザーとコントロールエレクトロニクス部分を一体化し簡便にインストールできる。広範な環境認定テストにも合格し,高い信頼性と低い所有コストを保証するという。

完全な自動化とコンピューター制御により,24/7運転においても出力,ビームパラメーター,およびビームポインティングにおいて高い安定性を示し,要求の厳しいアプリケーションに高精度と再現性を提供するとしている。

アプリケーションとして,・OLEDディスプレー製造・5Gフレキシブルプリント回路切断,穴あけ・半導体ウェーハスクライビング,ダイシング・ポリマー切断,・医療用デバイス加工,・太陽電池スクライビング,穴あけ・LED,microLED加工・セラミック加工・ファインメタル加工を挙げている。

これらの製品はスペクトラ・フィジックスが,日本国内にて販売をする。

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