2022年02月02日

スタンレー，MEMSスターターキットを発売

著者： sugi

スタンレー電気は，エンジニアリングサンプルとして，「2軸圧電方式MEMSミラー」スターターキットの販売を開始した（ニュースリリース）。

同社のMEMSミラーは，電磁式や静電式MEMSミラーに対して，小型で高出力なアクチュエータを実現。自動車機器事業で培った高信頼性（高耐熱・耐振動・耐衝撃性）を設計および成膜～デバイス生産まで自社一貫で実現している。

パッケージは「光源・MEMS一体型」「光源・MEMS分離型」「MEMS+駆動回路」の3タイプをラインナップ。MEMSデバイスの仕様は下記の2種類を用意する。

パターン1
光学　　水平：±22deg
振れ角　垂直：±12deg
共振　　水平：36±1kHz
周波数　垂直：>700Hz
ミラー径：Φ1mm

パターン2
光学　　水平：±20deg
振れ角　垂直：±6deg
共振　　水平：21.5±0.5kHz
周波数　垂直：>1kHz
ミラー径：Φ1.48mm×1.63mm

投影制御用アプリケーションソフトが付属し，MEMSミラー振れ角等のコントロール，LD補正テーブルの設定，ピクセルシフト／投影補正等がセッティングできる。また，User I/Oでは，MEMSミラーのセンサ信号だけではなく，映像用の信号／緊急停止用等のインターフェースも用意しており，開発を支援するとしている。

キーワード：

MEMS

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