SP，80W UVハイブリッドファイバーレーザー発表

スペクトラ・フィジックスは，ハイブリッドファイバーレーザー「Quasar」シリーズにこれまでよりさらに高出力，高パルスエネルギーUVを出力する Spectra-Physics「Quasar UV80レーザー」を発表した（ニュースリリース）。

この製品は，80Wを超えるUV出力と400μJを超えるパルスエネルギーを優れたシングルモードビーム品質で提供するというもの。さらに最新のTimeShift機能によりパルス形状をプログラマブルとし，パルス幅，パルス形状，繰返し周波数が調整可能，微細加工プロセスの最適化に威力を発揮する。

このTimeShift機能は，<2〜>100nsの調整可能なパルス幅，シングルショットから3.5MHzまでの調整可能な繰返し周波数，バーストモードおよびプログラム可能なパルス形状を出力できる。また，回折限界に近いシングルモードUVビームの出力も可能だとする。

アプリケーションとして，電子パッケージおよびコンポーネンツ，セラミックス，PCボード，半導体，ソーラーパネル，リチウムイオン電池，および軽量炭素繊維強化ポリマー（CFRP）部品のハイスループット製造等を想定している。

この製品のハイブリッドファイバーアーキテクチャは，最新のファイバーレーザー，パワーアンプ，特許取得済みの高調波テクノロジーの組み合わせにより，高い性能を実現すると共に，長寿命のコンポーネントと最先端の製造プロセス技術により広範囲に渡る環境認定テストをクリア，高い信頼性を確保したとしている。

この製品の主な特徴は以下の通り。
・>80W UV（400μJ）または>60W UV（300μJ）
・>95Wグリーン（475μJ）または>75Wグリーン（375μJ）
・TimeShiftテクノロジー搭載
　-広範囲の繰返し周波数において一定のパルス幅で出力
　-パルス幅可変，パルス整形，パルス分割とバーストモード運転
・高繰返し周波数（0-3.5MHz）による高速加工
・パルス分割とバーストモード運転
・重要なパフォーマンスのモニタリングと診断のためのデータログ