キーサイト,シリフォト向けテストシステムを発売

米キーサイト・テクノロジーズは,再現性の高いテスト機能により,シリコンフォトニクス ウエハーの迅速な量産立ち上げから本格量産にまで幅広く対応する「NX5402A シリコンフォトニクス・テスト・システム」を発表した(ニュースリリース)。

シリコンフォトニクスは主にビックデータやクラウド・アプリケーションに代表されるデータセンター市場での活用が見込まれているが,ヘルスケア,車載LiDAR,光コンピューティング,量子コンピューティングなどの他分野での応用も期待されている。

シリコンフォトニクス・テストは高感度かつ高確度の測定が多岐にわたって求められるが,市販されている完全自動ウエハー・プローバーと組み合わせて動作する量産用シリコンフォトニクス向けのテスト機器はこれまでなく,企業やシステムインテグレーターは,テストシステムの最適化やメンテナンスについて,複数の機器ベンダーと調整する必要があった。

新製品のテストシステムは,同社が培ってきた電気・光測定の高度な知識と,最新の「PathWave Semiconductor Testソフトウェア」によって統合されたファイバーアライメントとポシショニングシステムを組み合わせた,以下の特長を持つ最初の本格量産向けソリューションとなるとしている。

・ワンストップ:統合された光・電気テスト機能に加え,ファイバーアライメントおよびポジショニングシステムを含む測定システム,そして量産に特化したダイレクトサポートなど,必要なものを全て提供。

・完全自動化:「PathWave Semiconductor Testソフトウェア」は同社のSPECSソフトウェア(半導体プロセス評価コアソフトウェア)と互換性があり,測定の完全自動化を実現。これによりシリコンフォトニクス・テストを1パスで実現する。

・量産対応:ファクトリーオートメーションソフトウェア,セーフティーインターロック,クリーンルーム対応などの量産に必要な機能を提供。また,マルチチャネル,光,電気テストアーキテクチャや,最適化されたファイバーアライメントで高スループットテストを実現する。

・システムレベルで保証された高性能測定:開発から量産に至るまで高い測定確度,繰り返し精度,再現精度を維持し,自動システム診断機能による信頼性の高い性能モニタリングに加え,ウエハーレベルでの正確な光測定校正を提供する。

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