Micro-Epsilon Japanは新製品の静電容量変位センサー「capaNCDTフラットセンサシリーズ」の販売を開始する（製品ページ）。

同シリーズは信頼性と低ノイズで定評が高く，その安定した計測でASML，Zeiss等多くの半導体製造装置メーカーに採用され，ナノメーターの領域で測長のソ
リューションを提供しているという。

同社開発のガードリング構造をセンサー部に採用することにより，高い精度，リニアリティを実現している。同様の構造をフラット形状にも採用することにより，高い精度を持ちながら組込を容易にした。

また，同シリーズは超高真空，-270℃から200℃という幅広い温度環境にも対応しており，真空チャンバー内や，クライオスタッド，アウトガスを嫌うDUV，EUVの装置内で採用が進んでいるという。

同社では幅広いスタンダード品と並び，数多くのカスタム品も顧客の要望に合わせて開発を行なっている。