2019年11月12日

【光フェア】ケイエルブイ，高精度QCLガスセンサーを紹介

著者： sugi

ケイエルブイは，光とレーザーの科学技術フェア（11月12日～14日科学技術館）において，量子カスケードレーザー（QCL）を用いた，小型・高精度のガス検出モジュール「MultiSense」を紹介している。

この製品はフランスの半導体材料メーカーであるIII-V labからスピンアウトした産業用QCLメーカー，mir senseの製品。筐体のサイズが12cm×10cm×6cmと超小型ながら，ppbレベルの検出感度とリアルタイムモニタリングを実現している。

一般的にレーザーガスセンシングにおいて高感度を求める場合，サンプルガス容器を長尺化して光路長を稼ぐ必要があるが，その分装置の大型化が避けられない。そこでこの製品は，レーザーがガス分子に当たった時に生じる熱膨張音を捉える光音響センサー方式により，超小型化と高精度化を両立した。

QCLの波長は4μm～10μm，検出ガスによって任意の波長を選択でき，1つのモジュールに最大4台のQCLを搭載し，4種のガスを検出できる。主な測定ガスは，NO，NO₂，CO，CO₂，NH₃，SF₆，H₂S，SO₂，H₂Oなど。検出限界はガスにもよるが，ppm～ppbとなっている。

また，搭載するヒーターでガスのケース内温度を5～200℃に保ち，サンプルガスの結露を防ぎながらの検出が可能。USBまたはRS485によりPCとも容易に接続ができる。同社ではこの製品がプロセスガスのインラインモニタリングなど，生産ラインでの応用が見込まれるとしている。

なお，同社はこの製品について11月14日（木），会場内にて「量子カスケードレーザー（QCL）と光音響効果を利用したガス計測」と題した無料セミナーを行なう。参加申し込みは当日，会場にて受付ける。

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