ギガフォトン,出力最大クラスのKrFレーザーを発売

ギガフォトンは,2019年3月より世界最大出力クラスのKrFレーザー「G45K」の出荷を開始した(ニュースリリース)。

近年のIoTやAIの普及に伴い,世界中の情報データ量はここ数年で10倍になったといわれている。

それに対応するため,チップメーカーは高集積な最先端メモリチップの生産性向上に取り組んでいる。リソグラフィ工程においては,光源となるKrFレーザーの出力パワーが生産性向上に直接的に寄与するため,その高出力化の実現が期待されていた。

この製品は,従来機種より25%以上高めた50Wの出力パワーを実現し,最先端メモリチップが生産をより高効率にする。また,装置内の主要モジュールの寿命を20%延長し,メンテナンスのためのダウンタイムを大幅に低減し,生産性向上に寄与するという。

同社のグリーンテクノロジーは,従来機種同様,「ヘリウムフリー」は標準搭載,「hTGM(ネオンガスリサイクルシステム)」は対応可能となり,オペレーションコスト削減にも効果的とする。同社はこの製品が,最先端メモリチップのさらなる生産効率化に貢献するとしている。

その他関連ニュース

  • 古河電工,超低消費電力ラマン増幅器用励起光源開発 2024年07月03日
  • 古河電工ら,出力5kWの青色レーザー発振器を開発 2024年06月04日
  • 【解説】青色半導体レーザーの高出力化が進展も,実用化にはビーム制御も重要 2024年05月22日
  • 【OPIE】金門光波,He-Cdレーザー装置を展示
    【OPIE】金門光波,He-Cdレーザー装置を展示 2024年04月26日
  • 京大ら,高出力狭線幅フォトニック結晶レーザー実現 2024年02月28日
  • 理研,シングルサイクルレーザー光をTW級に増幅 2023年12月20日
  • 【光フェア】メンロー,ファイバーレーザーを紹介 2023年11月09日
  • 阪大ら,2光子衝突による電子・陽電子対生成を発見 2023年08月21日