ギガフォトン,最大出力クラスKrFレーザーを発売

ギガフォトンは,2019年3月より世界最大出力クラスのKrFレーザー「G45K」の出荷を開始し,最先端メモリーチップのさらなる生産効率化に貢献すると発表した(ニュースリリース)。

近年のIoTやAIの普及に伴い,世界中の情報データ量はここ数年で10倍になったといわれている。それに対応するため,チップメーカーは高集積な最先端メモリーチップの生産性向上に取り組んでいる。リソグラフィ工程においては,光源となるKrFレーザーの出力パワーが生産性向上に直接的に寄与するため,その高出力化の実現が期待されていた。

この製品は,それに応えるべく,従来機種より25%以上高めた50Wの出力パワーを実現し,最先端メモリーチップのより高効率な生産を可能にする。また,装置内の主要モジュールの寿命を20%延長し,メンテナンスのためのダウンタイムを大幅に低減したことも,生産性向上に寄与するという。

さらに同社のグリーンテクノロジーについては,従来機種同様,「ヘリウムフリー」は標準搭載,「hTGM」(ネオンガスリサイクルシステム)は対応可能となっており,オペレーションコスト削減にも効果的としている。

その他関連ニュース

  • 【光フェア】QDレーザのマルチカラーレーザー光源 2021年11月17日
  • SP,80W UVハイブリッドファイバーレーザー発表 2021年11月17日
  • SP,バイオイメージング向けレーザーの機能拡張 2021年11月09日
  • QDレーザ,小型マルチカラーレーザー光源を発売 2021年11月08日
  • 浜ホト,小型ビームパターン光源を高密度集積 2021年10月26日
  • 三菱,広動作温度範囲CWDM 100Gb/sチップ開発 2021年10月26日
  • 光響,CW 500Wレーザークリーナーを発売 2021年09月14日
  • トプティカらのレーザー,天文台の試験に合格 2021年09月13日