ギガフォトン鈴木氏ら,SPIEフェローに選出

ギガフォトンは,国際光工学会(The International Society for Optics and Photonics:SPIE)において,同社研究部技術アドバイザである鈴木章義氏が “SPIE Frits Zernike Award in Microlithography” を受賞するとともに,副社長兼CTOである溝口計氏がSPIEフェローに選出されたと発表した(ニュースリリース)。

リソグラフィ技術の主要学会であるSPIEによって2002年に創設されたFrits Zernike Awardは,1953年に位相差顕微鏡でノーベル物理学賞を受賞し,リソグラフィ技術にも多大な影響を与えたZernike博士の名前を冠した賞。同賞は業界の中で特に際立った活躍をした者に贈られ,受賞者はこれまでに14名を数えるが,日本人の受賞は鈴木氏が初となる。

鈴木氏の受賞は,40年以上のキャリアの中で,コンタクト露光機,1:1スキャナー,g線,i線,KrFステッパー,KrF/ArF/液浸スキャナー,EUV露光機,NILなど,黎明期から現在に至るあらゆる光リソグラフィ装置の技術革新に寄与した業績を称えられたもの。

さらに,副社長兼CTOの溝口計氏が,長年に渡ってリソグラフィ技術へ貢献した者に与えられる,SPIEのフェローに選出された。この称号は,同氏のDUVレーザ(KrF/ArF/F2)からEUV光源に至る約30年にわたる先端的な製品開発実績と,それを支える100本以上に及ぶ論文の寄稿が認められて授与されたもの。

なお,光源技術者としてのフェロー選出は,世界初の快挙となる。また,今回の溝口氏の選出により同学会におけるリソグラフィ関係の日本人フェロー6名のうち,前出の鈴木氏,OBの岡崎信次氏を含む3名がギガフォトン関係者となった。

キーワード:

関連記事

  • 神戸賞で、理研・宮脇 敦史氏が大賞を受賞 蛍光タンパク質の開発を評価

    中谷財団は、財団設立40周年を記念して創設した学術賞「神戸賞」における第3回受賞者の決定し、理化学研究所の宮脇敦史氏が「光と生命との相互作用の探究から革新するバイオイメージング」の研究で大賞を受賞した(ニュースリリース)…

    2026.04.21
  • 日本学士院賞に伊賀健一氏、小山二三夫氏、江刺正喜氏など―VCSELとMEMSの先駆的研究を評価

    日本学士院は2026年3月12日、第1197回総会において、学術上の功績が顕著な科学者を顕彰する「日本学士院賞」を決定した。今回の受賞者には、光技術およびマイクロシステム分野において革新的な業績を挙げた、東京科学大学(旧…

    2026.03.19
  • 櫻井健二郎氏記念賞、浜ホトと古河電工が受賞

    光産業技術振興協会は2026年2月24日、リーガロイヤルホテル東京(東京・新宿区)において、浜松ホトニクスと古河電気工業が受賞した「第41回櫻井健二郎氏記念賞」の授賞式を行なった。 櫻井健二郎氏記念賞とは、通商産業省工業…

    2026.02.26
  • 東大 井手口拓郎氏が晝馬輝夫 光科学賞を受賞 デュアルコム分光法の先駆的研究で

    光科学技術研究振興財団は、独自に独創的な研究業績をあげ日本の光科学の基礎研究や光科学技術の発展に貢献したと認められる研究者を顕彰する「第7回 晝馬輝夫 光科学賞」の受賞者および「令和6年度研究助成」の採択者を決定したと発…

    2026.02.02
  • キヤノン、世界初 ナノインプリントリソグラフィ技術を応用したウエハー平坦化技術

    キヤノンは、ナノインプリントリソグラフィ(NIL)技術を応用し、ウエハーを平坦化する「Inkjet-based Adaptive Planarization」(IAP)技術を開発し、世界で初めて実用化した(ニュースリリー…

    2026.01.15

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

  • オプトキャリア