パナと東京精密,プラズマダイシング向けレーザーパターニング装置発売

パナソニック スマートファクトリーソリューションズ株式会社(PSFS)と東京精密は,共同開発したプラズマダイシング工法向けレーザーパターニング装置「AL300P」の受注を開始した(ニュースリリース)。

「AL300P」は,シリコンウエハからダメージレスでチップを切り出すことが可能な「プラズマダイシング工法」向けに開発された,PSFS製プラズマダイシング装置「APX300」専用のレーザーパターニング装置。プラズマダイシングの前工程でレジストなどのマスク層が貼り付けられたシリコンウエハを,UVレーザー加工により,ダイシング位置に所定の幅で高精度にパターニングする。

主な特長として,・最小15μm幅でのレーザパターニングが可能(デバイス構造による)・プラズマダイシングに最適なレーザビーム形状 がある。

PSFSでは,大阪府門真市にあるプラズマダイシング実証センターに「AL300P」を導入,PSFS製プラズマダイサー「APX300」(DMオプション)と一気通貫で実証できる体制を構築した。

その他関連ニュース

  • 東北大,レーザー微細加工の分解能を飛躍的に向上 2024年03月12日
  • 理研,超短パルスレーザーとエッチングで微細貫通穴作製 2024年01月12日
  • キヤノンMJ,半導体検査用ナノX線CT装置を発売 2023年12月19日
  • ブイテク子会社,最速Siウエハー欠陥検査装置出荷 2023年12月13日
  • ウシオとAMAT,サブミクロン配線向けDLTを開発
    ウシオとAMAT,サブミクロン配線向けDLTを開発 2023年12月13日
  • DNP,3nm相当EUVフォトマスク製造プロセス開発
    DNP,3nm相当EUVフォトマスク製造プロセス開発 2023年12月13日
  • 日立ハイテク,高精度電子線計測システムを発売 2023年12月13日
  • ニコン,同社最高生産性のArF液浸スキャナーを発売
    ニコン,同社最高生産性のArF液浸スキャナーを発売 2023年12月12日