計測分析技術は，それ自体の研究・開発が進んでいる一方，既存の計測・分析機器を用い，製品開発につなげるための分析・評価手法の確立が展開されている。計測・分析技術の応用分野は幅広く，装置・機器も多様なものが製品化されており，市場が形成されている。

光・レーザーのアプリケーションという観点から見ても，計測・分析分野は重要なマーケットの一つと言え，光・レーザーが果たす役割は大きいものがある。そのような中にあって今回，レーザーのアプリケーションの一つとして，LA-ICPMS（レーザーアブレーションICP質量分析システム）に注目した。この手法は産業応用に向けた研究・開発が活発化しており，今後の展開が期待されている。LA-ICPMSは，固体試料に対する分析だが，今回，その産業応用の可能性を探る。

■LA-ICPMSとは

LA-ICPMSは物質にレーザー光を照射し，発生した固体エアロゾルを大気圧高温プラズマ（ICP）によりイオン化して質量分析するという手法である。LA-ICPMSは四重極型ICPMSとセクターフィールド型ICPMSを用いたものがあるが，一般的に普及しているのは四重極型である。

LA-ICPMSにおけるレーザー照射径は60 μm〜100 μm程度で，例えば，ガラス試料を測定したときの検出限界はサブppmオーダーで高感度な計測を可能にする。レーザー光源は主として波長213 nm，266 nmのNd:YAGレーザーや193 nmのArFレーザーが用いられ，重金属元素の分析を最も得意としている。

LA-ICPMSは，これまで地球化学分野における研究用途で適用されてきたが，近年ではプラスチック製品，半導体など電子デバイスなどにおける材料分析の応用展開が進み，材料中の元素の偏在化や局在化パターン，深さ方向の分布などを分析するツールとして用いられている。こうした対応は2D／3Dマッピング開発にもつながっている。

LA-ICPMSが特に注目される背景には，EUのRoHS指令によるところが大きい。RoHS指令では水銀，カドミウム，六価クロム，鉛の使用を厳しく制限しているが，これらは重元素であるため，電気・電子機器製品に含有する重元素分析ではLA-ICPMSによる分析ニーズが高まっている。また，製品開発において材料組成を把握することで，製造プロセスや機能特性の最適化にもつなげることができるため，LA-ICPMSによる分析の必要性が増している。