コヒレント，長寿命Qスイッチレーザーをリリース

米コヒレントは，同出力クラスにおいて長寿命を実現した，Qスイッチ付LD励起固体レーザー（DPSS）の新モデルをリリースした（ニュースリリース）。

この新製品「AVIA LX 355-20」は，平均出力20W＠355nm（繰返周波数50kHz動作時），近回折限界の高いビーム質（M²<1.3），20,000時間以上の長寿命を実現する。

この製品は，マイクロエレクトロニクス製造やパッケージング分野での，カッティングやドリリング，マーキングなどの用途に適したモデル。主なアプリケーションは，ウエハのスクライビングやカッティングだけでなく，フレックス材料の加工，チップやモールドフォームへのマーキング，ICパッケージのトリミングなどがある。

さらに，3Dチップパッケージ製造における，ビアドリリングやガラス，セラミック，銅，複合材料などの加工にも適している。短パルスレーザーは，材料への熱影響を抑え，より薄い材料への高度な精密加工を可能にする。

また，小型（140mmx110mmx620mm），一体型設計（レーザヘッド，コントローラ，励起LDを一体化），簡易設置を可能にする3点キネマティックマウントを採用しており，ユーザーは，DC電源と冷却チラーを準備するだけで動作が可能。設計・製造段階でHALT/HASS試験の厳しい条件をクリアしているので，長期間メンテナンスフリーでの安定稼動を可能としている。

また，第３高調波（THG）発生用の結晶は，通常長期動作のために集光スポットをシフトさせるが，このレーザーでは予め全ての集光スポットを検査しており，スポットシフトした際のビーム特性や出力に大きな変化がないよう自動で最適化している。