ギガフォトン,EUV光源で108W/24Hの安定発光に成功

NEDOプロジェクトにおいて,ギガフォトンは,現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプ機を開発し,エネルギー安定性平均0.5%以下で,ロジック生産適用可能レベルである出力108Wの安定発光を,24時間連続運転で成功した(ニュースリリース)。

NEDOの「戦略的省エネルギー技術革新プログラム事業」において,ギガフォトンは,EUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源の開発を進めてきた。

今回,同社は,このLPP光源のプロトタイプ機で,これまでNEDOの助成等により開発を続けてきた,20μm以下の微小ドロップレットの供給技術,短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ,磁場を使ったデブリ除去技術をより進化させ,さらにエネルギー制御技術の改善により,量産工場での使用を模擬した運転パターンで,エネルギー安定性平均0.5%以下で,108W,24時間の連続稼働を達成した。

108Wという出力はロジック生産適用が可能なレベル。この成果は,量産対応EUVスキャナーの実現に向けて大きく進捗したことを意味するとしている。

なお,これらの成果を,2015年12月16日(水)~18日(金)の間,東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2015」において発表する。

今後同社は,2015年中に高出力検証機を稼働させ,メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの連続稼働を目指し,更なる研究開発に取り組んでいく。高出力検証機は,省電力CO2レーザーの導入とEUV光の発生効率の向上を実証し,省エネルギー化を目指すとしている。

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