ウシオ電機,i,h,g線を波長可変できるUV-LED光源を開発

ウシオ電機はi,h,g線の波長可変が可能な高輝度UV-LED光源を開発した。

開発したLED光源は3種類の LEDを搭載しており,既存のランプ光源では難しいとされている,3波長ごとの出力調整や露光タイミングの制御を実現する。放射照度は750Wランプ相当で,熱線を含まないため低温照射が可能。実用化の時期は未定だが,レジストや各種材料,パワーデバイス,各種センサ,チップバンプ,MEMSなどの開発用光源としての利用を想定している。

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