科学・技術

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産総研,転位密度400個cm-2の低欠陥単結晶ダイヤモンドウエハのコピー技術を実証

産総研,転位密度400個cm-2の低欠陥単結晶ダイヤモンドウエハのコピー技術を実証

産業技術総合研究所(産総研)は,ダイレクトウエハ化技術により,転位など欠陥の極めて少ない気相合成単結晶ダイヤモンドウエハを作製できるダイヤモンドウエハの低欠陥コピー技術を実証した(ニュースリリース)。 ダイヤモンド基板の […]