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阪大ら,テラヘルツによる半導体評価法を開発

阪大ら,テラヘルツによる半導体評価法を開発

大阪大学とSCREENホールディングスは共同で,レーザー照射によって発生するテラヘルツ波を計測し可視化するレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡(LTEM)により,窒化ガリウム(以下GaN)の表面に存在する欠陥濃度の変化を […]