RFスパッタ法

産総研ら，最高性能のGaN圧電薄膜をスパッタで作製

産業技術総合研究所（産総研）は，村田製作所と共同で，低コストで成膜温度の低いRFスパッタ法を用いた，単結晶と同等の圧電性能を示す窒化ガリウム（GaN）薄膜を作製できる方法を見いだした（ニュースリリース）。 さらに，スカン...

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