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立命大，銅の微細構造を簡易形成する加工技術を開発

立命館大学の研究グループは，銅の微細パターンを簡易的かつ高速に形成する加工技術の開発に成功した（ニュースリリース）。 銅は，その優れた電気特性から半導体素子の配線に広く使用されている。銅の微細パターンを形成するため，フォ...

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