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KrFの記事一覧

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富士フイルム、世界初のKrF露光対応PFASフリー材料でイメージセンサーの超微細化と高感度化を両立

富士フイルムは、イメージセンサー用カラーフィルター材料「Wave Control Mosaic」の新製品として、世界で初めてKrF露光に対応した材料を発売した（ニュースリリース）。イメージセンサーはスマートフォンや車載...
2025.12.18
キヤノン，KrF露光装置の生産向上オプション発売

キヤノンは，半導体露光装置KrFスキャナー「FPA-6300ES6a」の生産性向上オプション「Grade10」を2022年8月上旬に発売すると発表した（ニュースリリース）。半導体デバイスの需要が拡大しているなか，半導体...
2022.06.14
ギガフォトン，新製品のKrFエキシマレーザー出荷

ギガフォトンは，半導体製造リソグラフィ用光源の技術を応用したGIGANEXシリーズの新製品，KrFレーザー「G300K」を3月に出荷した（ニュースリリース）。この波長248nmのKrFエキシマレーザーは，同社のリソグラ...
2020.04.15
ギガフォトン，出力最大クラスのKrFレーザーを発売

ギガフォトンは，2019年3月より世界最大出力クラスのKrFレーザー「G45K」の出荷を開始した（ニュースリリース）。近年のIoTやAIの普及に伴い，世界中の情報データ量はここ数年で10倍になったといわれている。それ...
2019.03.20

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