HVPE

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大陽日酸ら，HVPEで6in基板に酸化ガリウム成膜

大陽日酸，東京農工大学，ノベルクリスタルテクノロジーは，HVPE法による6インチウエハー上の酸化ガリウム成膜に世界で初めて成功した（ニュースリリース）。酸化ガリウム（β-Ga2O3）は，炭化ケイ素（SiC）や窒化ガリウ...
2022.03.02
産総研ら，GaAs太陽電池製造用HVPE装置を開発

産業技術総合研究所（産総研）は，大陽日酸，東京農工大学と共同で，低コストでガリウムヒ素（GaAs）太陽電池を高いスループットで製造できるハイドライド気相成長（Hydride Vapor Phase Epitaxy，HVP...
2017.06.14

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