DUVレーザー

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スペクトロニクス、5.18億円調達　半導体向け266nm DUVレーザー量産へ

　スペクトロニクス（大阪府吹田市）は、2024年12月に実施したシリーズFラウンド4億8,000万円のエクステンションとして、総額5億1,800万円の第三者割当増資を実施したと発表した（ニュースリリース）。今回の資金調達...
2026.10.01
東大ら，DUVレーザーで半導体基板に3μm穴あけ加工

東京大学，三菱電機，味の素ファインテクノ，スペクトロニクスは，次世代の半導体製造「後工程」に必要な，パッケージ基板への3μmの極微細レーザー穴あけ加工技術を開発した（ニュースリリース）。近年，EUV露光技術の発展により...
2024.05.31
旭化成と名大，UV-C LDの室温動作発振を実現

名古屋大学と旭化成は，世界で初めてUV-C帯域274nmの深紫外半導体レーザー（UV-C LD）の室温連続発振に成功した（ニュースリリース）。深紫外半導体レーザー（またはレーザーダイオード）は，殺菌やウイルス検知，ヘル...
2022.11.25
ダウ，CMPスーパ研磨LBO結晶を販売

ダウは，リトアニアのUVIR製「CMPスーパ研磨LBO結晶」を取り扱っている（会社HP）。 LBO（LiB3O5）結晶はここ5年間で，結晶成長・研磨・コート技術が飛躍的に進歩し，結果的に他の非線形光学結晶とは大きな格差が...
2022.10.18

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