貫通穴

貫通穴の記事一覧

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  • 日板の貫通穴加工,専用ガラス基板を使用

    8インチ基板への加工例 日本板硝子は,微細貫通穴ガラス基板(TGV:Through Glass Via)の開発に成功したと発表した(発表記事)。TGVはデバイスの小型化によって従来のワイヤボンディングでは対応が難しくなり...

    2018.01.19
  • 理研ら,高アスペクト比シリコン貫通穴をレーザーで作製

    理化学研究所(理研),中国科学院(SIOM)上海光学精密機械研究所の国際共同研究チームは,最適化した「フェムト秒ベッセルビーム」を用いて,次世代の3次元シリコン大規模集積回路(SiLSI)の高集積化・高速度化につながる高...

    2017.01.19

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