プラズマエッチング

プラズマエッチングの記事一覧

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  • 金沢大、ダイヤモンド中の量子ビットを配向軸を揃えながら位置制御することに成功

    金沢大学と独Diamond and Carbon Applicationsの研究グループは、ダイヤモンド中の量子ビットとして有用なNVセンターを、配向軸を揃えたまま任意の位置に生成する技術を開発した(ニュースリリース)。...

    2026.03.19
  • キヤノンMJ,異方性エッチング加工装置を発売

    キヤノンマーケティングジャパン(キヤノンMJ)は,半導体製造におけるプラズマエッチング・アッシング装置「MAS-8220TP」を2022年9月1日に発売する(ニュースリリース)。オープン価格。 この装置は,近年自動車の電...

    2022.08.31

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