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  • パナと東京精密,ウエハ加工装置で協業

    パナソニック ファクトリーソリューションズと東京精密は,メタル配線のあるセンサーやメモリーなどの半導体チップをウエハーからダメージレスで切り出す技術として,「レーザーグルービング(溝加工)+プラズマダイシング工法」の普及...

    2017.02.20

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