1.　はじめに

軟X線（SoftX-Ray：SXR）及び極端紫外線（ExtremeUltra-Violet：EUV）（波長1－20nm程度）は，光電子分光を通じた機能性材料開発^1）や，生体その場観測（水の窓領域，波長2.4－4.4nm）^2），次世代半導体露光（波長6.xnm，13.5nm）^3）など利用可能であることから，大きな注目を集めている。

この領域の光源方式は様々あるなかで，レーザー生成プラズマ（Laser-ProducedPlasma：LPP）方式は，多価電離プラズマを生成し，特定の波長域のみに大光量の光源を可能とする。LPPは加速器と比較して小型で経済的優位性を有すると同時に，X線管を始めとする実験室光源よりも6桁程度高出力である^4）。

また硬X線と異なり，SXR/EUVでは反射（干渉）光学系が存在するため，求められるのは照明光学系が許容するエタンデュ（発光面積×立体角）内での高出力である。加速器に代表される超低エタンデュ（エミッタンス）・高輝度光源とは全く異なる性能が求められる。このような事情もあり，半導体露光（波長13.5nm）ではLPPが採用されている^5）。