島津製作所は，7月19日にマイクロフォーカスX線検査装置「Xslicer（エックススライサー） SMX-6010」でVCT（直交CT）撮影を可能にする「VCTオプション」を発売した（ニュースリリース）。「Xslicer SMX-6010」の希望販売価格は5,635万円（税別），「VCTオプション」は580万円（税別）。

近年，電機・電子部品の微細化・多層化に伴い，微小な範囲を正確かつ簡単に観察するCT撮影が求められている。

マイクロフォーカスX線検査装置は，X線発生装置と検出器の間に設置したワークにX線を照射することで，ワーク内部の非破壊での観察・撮影を実現する。2次元の透視画像を観察する透視撮影と，コンピューター処理により3次元で内部構造を観察するPCTやVCTなどのCT撮影を用途に応じて選択できる。

「Xslicer SMX-6010」は透視撮影に加え，複雑な手順を必要とせず断面画像が得られるPCT（斜めCT）撮影の機能を標準搭載している。VCTは，回転する検査対象物（ワーク）に対して垂直にX線を照射して，鮮明な断面画像を取得する撮影手法で，今回発売する「VCTオプション」により，従来の透視・PCT撮影に加えVCT撮影が可能となり，基板部品や電機・電子部品などの品質管理や故障解析を幅広くサポートする。

また，この装置は観察位置の調整を容易にする，位置調整用電動XYステージを搭載。電動XYステージが搭載されていない場合，手作業によるワークの取付け/取外しによる観察位置の調整作業が何度も発生するが，電動XYステージを搭載したこの装置のVCTオプションでは，ソフトウェア上の直感的な操作で観察位置を調整できるため，ワーク取付け後すぐに，微小な部分を正確に観察できるという。

さらに，100×150mm，200gまでのワークを検査可能で，装置の本体の高分解能により，3ミクロンまで分解可能。基板部品や電機・電子部品などの故障解析に適した仕様で，ミクロン単位でのCT観察を実現するとしている。