スペクトロニクス,深紫外レーザー発振器を発売

スペクトロニクスは,独自のLD-GS方式を活かした更なる高出力タイプピコ秒深紫外レーザー発振器「LDH-X1510」(出力:266nm,パルス幅:15ps)を2023年年内に発売すると発表した(ニュースリリース)。

同社では2018年より発売当時世界最大となる出力8Wのピコ秒深紫外レーザーを販売していたが,半導体向けパッケージ基板のVia加工を始めとする,更なる用途の広がりや高速加工ニーズに対応するため,出力を15Wへ高め,かつ連続10,000時間以上の長期安定性及び出力保持時間を確保したこの製品を開発。世界最高出力と最長出力保持期間を更新して販売開始することとしたという。

また,同コンセプトで開発したピコ秒紫外レーザー「LDH-V3010」(出力:355nm,パルス幅:15ps)を先行して,2023年5月に販売開始するとしている。

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