阪大,300℃超に耐える抵抗変化型メモリ素子を実現

大阪大学の研究グループは,抵抗変化型メモリ素子であるメモリスタを高温で動作させることに世界で初めて成功した(ニュースリリース)。

シリコントランジスタの動作温度は,シリコン半導体の物性値(主にバンドギャップ)から200℃以下に限られる。そこで,高温下や航空宇宙・耐放射線などの極限環境下で動作する素子の開発が進められている。

その一つが抵抗変化型メモリ素子「メモリスタ」で,特に,金属酸化物を利用したメモリスタでは多くの研究がされてきたが,熱耐性を有するメモリスタは未達成だった。

金属酸化物からなるメモリスタは,材料内部に存在する酸素空孔イオンによって導電性を示す。また,酸素空孔イオンは電圧印加によって移動するため,不揮発な抵抗変化を発現する。

これまでメモリスタに利用されてきた酸化チタンや酸化タンタル,酸化ハフニウムといった材料では,電圧印加によって導電性を示す部分がフィラメント状に繋がることで抵抗が変化する。

この「フィラメント型」メモリスタは高い抵抗比を実現できる一方,フィラメントの形成位置やサイズなどが制御できないため,性能のばらつきや長期的な信頼性に問題がある。そこで研究グループは,「非フィラメント型」,つまりフィラメントを形成させずに酸素空孔イオンの分布を制御することで抵抗変化を引き起こす材料に着目した。

今回,ワイドギャップ半導体としても知られている酸化ガリウムを,パルスレーザー蒸着法を用いて数十nm厚の還元性アモルファス薄膜に生成し,白金上部電極と酸化インジウムスズ下部電極で挟んだキャパシタ型メモリスタを作製した。

この還元性アモルファス酸化ガリウム(a-GaOx)メモリスタの電流-電圧特性を計測したところ,上部電極への正/負電圧の印加に応じて出力電流が変化する「逆8の字形ヒステリシス特性」が得られ,メモリ機能を有することがわかった。

これは,電子を供給して正に帯電した酸素空孔イオンが負電圧印加で上部電極側へ引き寄せられたときに低抵抗状態に,正電圧印加で同電極側から引き離されたときに高抵抗状態になる特性。

また,それらの状態は滑らかに遷移しており,このメモリスタが酸素空孔イオンの分布状態が変化する「非フィラメント型」であることを示した。さらに,600K(327℃)の高温下でも非フィラメント型の特性が現れ,そのメモリ機能は長時間安定して保持されたという。

これらの結果から,a-GaOxメモリスタが他の金属酸化物メモリスタと比較してトップクラスの熱耐性を備えていることが分かった。研究グループは,極限環境下におけるメモリ集積回路やAIハードウェアに用いる脳型コンピュータ素子への応用が期待されるとしている。

キーワード:

関連記事

  • トルンプの2025/26年度年次報告書「semicon」の表紙

    トルンプ、2025年度のEUV事業は9.2%増 レーザー事業は減収

    ドイツのレーザー加工機大手TRUMPF(トルンプ)は、2026年6月30日に終了した2025/26年度の業績を発表した。グループ全体の売上高は前年度比0.2%増の43億4,000万ユーロとほぼ横ばいだったものの、受注高は…

    2026.10.16
  • 日立ハイテクとZEISS、高NA-EUV量産を支える電子線検査装置の開発を加速

     日立ハイテクとドイツの ZEISS社は、高NA-EUVの量産を支える検査装置として、次世代マルチビーム電子線検査装置の共同開発を加速させると発表した。(ニュースリリース)  半導体製造工程では、高品質なデバイス製造のた…

    2026.10.01
  • 【解説】半導体を支える「光」 熊本県立大の新学部から見る半導体とフォトニクスの接点

     熊本県立大学は2026年9月1日、文部科学大臣から「半導体学部半導体学科」の設置認可を受けた(ニュースリリース)。2027年4月に開設し、1学年60人、教員16人体制で半導体分野の人材育成に取り組む。  「半導体学部」…

    2026.09.23
  • 【解説】AIで「シリコンサイクル」は変わるのか

    半導体市場はこれまで、需要増を受けた増産が供給過剰を招き、価格下落や設備投資の抑制につながる「シリコンサイクル」を繰り返してきた。ところが生成AIの急速な普及によって、この波の形が変わる可能性が出てきた(関連記事)。 A…

    2026.08.12
  • ニコン、新型アライメントステーションを発表 半導体露光工程を高度化

    ニコンは、半導体製造の露光プロセスにおいて高い精度と生産性を実現する新型アライメントステーション「Litho Booster 1000」を2027年1月に発売する(ニュースリリース)。同製品は、従来機種と比較して計測精度…

    2026.07.30

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

  • オプトキャリア