QSTら,高強度レーザーでの表面変化をピコ秒計測

量子科学技術研究開発機構(QST),欧州X線自由電子レーザー研究所(European XFEL),独Siegen大学らは,X線自由電子レーザー(XFEL)施設「SACLA」を用いて,フェムト秒レーザーの照射に伴う固体表面のアブレーションのダイナミクスを,ナノメートルの深さ分解能とピコ秒の時間分解能での計測に成功した(ニュースリリース)。

超短パルス高強度レーザーや,“超”高強度レーザーと呼ばれる,集光強度が1018W.cm-2を大きく超えるようなレーザーと固体との相互作用において,レーザーが照射された固体表面付近のナノスケールの構造変化を実時間で計測する手法が求められている。

研究グループは,SACLAによる微小角斜入射小角X線散乱(GISAXS)を用いることで,この超高速ナノダイナミクスを観測した。GISAXSはこれまで,スパッタリングによる薄膜生成など,ミリ秒程度の表面成長プロセスを可視化する手法として放射光で用いられてきた。

今回,SACLAを用いることで従来のミリ秒からピコ秒と,9桁に及ぶ時間分解能の改善が実現された。また,空間ポインティングに非常に敏感なGISAXSにおいては,SACLAの非常に安定なX線ビームが重要な役割を果たした。

この観測手法では,サンプルにはナノ多層膜サンプルが使用され,X線はtotal external reflection angleと呼ばれる全反射角(約0.5度程度)よりもわずかに大きな入射角で入射される。これらの非常に浅い入射角度では,X線が固体へ侵入する深さは数十nmから数百nmに制限され,表面の構造変化に非常に敏感なプローブとして作用する。

輝度の非常に強い鏡面反射をビームストップによりブロックし,表面付近の電子密度分布によって散乱された,鏡面反射よりも何桁も強度の低い散漫散乱をSACLAで開発された高性能2次元X線検出器で計測した。

これにより,わずかフェムト秒のシングルパルスで解析に可能な十分な信号が得られることが示された。これらの散漫散乱パターンを解析することでナノメートルの深さ分解能を持つ電子密度プロファイルが再構築され,さらに,得られた密度プロファイルを最先端のプラズマシミュレーションと比較することで新たな知見も得た。

これまでこのレーザー強度領域で頻繁に用いられていた流体コードと実験結果との間には大きな差異が見られた一方,粒子衝突が支配的となる今回のプラズマ領域での使用は不適切と考えられてきたParticle-in-cell(セル内粒子)コードでは,粒子衝突モデルを改善することで実験結果を比較的良く再現できた。

研究グループは今回の手法が,高強度レーザー・固体相互作用の初期の表面ダイナミクスの実時間観測を可能にするとしている。

キーワード:

関連記事

  • トルンプの2025/26年度年次報告書「semicon」の表紙

    トルンプ、2025年度のEUV事業は9.2%増 レーザー事業は減収

    ドイツのレーザー加工機大手TRUMPF(トルンプ)は、2026年6月30日に終了した2025/26年度の業績を発表した。グループ全体の売上高は前年度比0.2%増の43億4,000万ユーロとほぼ横ばいだったものの、受注高は…

    2026.10.16
  • 東大が挑むAI×先端レーザー加工 Photonics Innovation 2026 プレイベントを開催

    オプトロニクス社は、11月10日(火)~12日(木)にパシフィコ横浜で光技術展示会「Photonics Innovation 2026/パワーレーザーPlus 2026」を開催する。そのプレイベントとして、東京大学 物性…

    2026.10.09
  • J-LiFEが本格始動、パワーレーザーからレーザーフュージョン産業化へ

     一般社団法人J-LiFE産業推進機構(代表理事:兒玉了祐氏)は、2026年10月1日、レーザーフュージョンエネルギーの早期実用化と産業化に向け、本格的な活動を開始した。同機構は7月16日に設立され、準備期間を経て活動を…

    2026.10.01
  • 【解説】文科省、科学技術の新たなロードマップを公表 パワーレーザー、アト秒科学など12大型研究を選定

     文部科学省は、科学技術・学術審議会の「学術研究の大型プロジェクトに関する作業部会」がまとめた「学術研究の大型プロジェクトの推進に関する基本構想―ロードマップ2026―」の暫定版を公表した(ニュースリリース)。大学や研究…

    2026.09.07
  • セブンシックス、MOPA方式ファイバーレーザー加工機を発売 剥離・接着前処理に対応

    セブンシックスは、ファイバーレーザー加工機「SX-Zシリーズ」の販売を2026年9月1日から開始した。オムロンから承継したレーザー加工関連技術・製品資産を基盤に、同社が培ってきたファイバーレーザー技術やレーザー制御技術を…

    2026.09.02

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

  • オプトキャリア