光技術展示会「OPIE’22」展示会場で,クォークテクノロジー【ブースNo.E-36】は,同社が手掛ける各種UV光源を展示している。
エキシマランプは半導体のウエハーやマスクの洗浄,ガラス基板線状,表面改質やコーティング,貼り合わせ前処理などに利用される。また,人体に危険な波長をカットし,人体に安全かつウイルス不活化に効果のある222nmの光を取り出す装置も展示している。
また紫外線硬化樹脂用のUV LEDはライン組込み用に最適なサイズや形状をカスタマイズできる。LEDチップは国内メーカーの物を使用しており,信頼性も高いという。その他,高密度タイプ,集光レンズ搭載タイプなども用意している。
ドイツ企業と共同開発したというUVレーザーは光学系と併せた提供が可能。例えばガルバノシステムでは600mm×600mmまでの高速スキャンが可能で基板のリフトオフなどに利用できる。レーザーや光学系に加え,関連会社と協力して装置として開発することもできるとしている。