光技術展示会「OPIE’22」展示会場で,夏目光学【ブースNo.A-33】は,同社の取り組みとして,レーザーのビームシェイパーの技術を紹介している。
レーザーのビームの形を任意に成形するビームシェイパーは,特に高出力レーザーにおいてレーザー加工の能力の向上や分岐などに用いられている。その手法としてはDOEが一般的だが,製法上イニシャルコストがかさむ場合があるという。
これに対して同社はレンズを使ったビームシェイパーを提案している。同社は半導体製造装置向けに紫外領域のレンズ製造技術のノウハウがあるが,こうした短波長領域では赤外領域に比べて精度や欠陥が厳しく規定されていることから,高い性能と耐性を誇るとする。
さらに,同社は光学設計でも知見があることから,顧客が所望するビーム形状に沿った設計とレンズの提案ができるとしている。ブースではこの取り組みの紹介の他,実際に同社が製造するフライアイレンズなど特殊な製品を見ることができる。