ソニー,UV対応813万画素CMOSセンサー開発

ソニーは,グローバルシャッター機能を搭載し,UV波長域に対応した2/3型として業界最多となる,有効約813万画素のCMOSイメージセンサー「IMX487」を産業機器向けに商品化する(ニュースリリース)。サンプル出荷は2021年9月。

一般的にUVカメラは,可視光では困難な素材の選別や,物体表面上の微細な傷や欠陥などの確認を可能とする。

従来から半導体パターンの欠陥検査などに使われてきたが,今後,より用途を広げるために,UV波長域における感度だけでなく,解像度や低ノイズ性能,そして高速性を併せ持ったイメージセンサーへの要望が高まっていた。

この製品は,UV波長域の中でも産業用の検査などに適した200nm~400nmの波長に対応。イメージセンサー上部のガラス,および画素のオンチップレンズにUV光透過率の高い材料を使用したほか,フォトダイオード周辺構造をUVに特化した独自構造とすることで,高い感度性能を有しつつノイズを低く抑えた高画質な撮像を可能にした。

また,画素がUV光を高効率に取り込むことで高いUV感度に加え,2.74µm角の微細画素の採用が可能となり,小型な2/3型のセンサーサイズながら業界最多となる有効約813万画素を実現した。

加えて、動体歪みの無い撮像を可能にするグローバルシャッター機能を搭載しつつ,裏面照射型画素構造が持つ配線レイアウトの高い自由度により,毎秒193フレーム(10bitモード時)の高速性も実現した。

この製品は,従来からUVイメージセンサーが活用されている半導体パターン欠陥検査に加え,プラスチックなどのリサイクル現場でのUV光による素材選別や透明樹脂の塗布状態検査,部品表面の微細傷の検査,劣化した電線架線で発生する放電時のUV光検知など,さまざまな産業課題への応用を想定している。

さらに,小型と高画質性能により,生産ラインにおける検査用途のみならず,屋外におけるインフラ点検など,運びやすさや解像度が求められるアプリケーションの課題解決につながるとしている。

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