JSR,メタル系EUVフォトレジスト企業を買収

JSRは9月17日,EUV(極端紫外線)リソグラフィ用メタル系フォトレジストの設計・開発・製造を行なう米Inpria Corporationの全株式を取得し,完全子会社化することで同社と合意し,契約を締結したと発表した(ニュースリリース)。

EUVの技術は半導体製造で使用される最先端のリソグラフィプロセスにおいては既に商業生産で使用されているが,今後半導体チップの微細化が進むにつれて,このプロセスの使用が大幅に増加することが予想される。

JSRは2017年および2020年にInpriaの資金調達ラウンドに参加し,同社の株式の21%を所有している。完全子会社化は,規制当局の承認等のプロセスを経て2021年10月末には完了する予定。なお,両社はInpriaの事業価値について514百万⽶ドル(約56,540 百万円*)で合意しているという。*1米ドル=110円として換算

Inpriaは2007年の設立以来,メタル系EUVフォトレジストの開発に取り組んでおり,EUV露光で世界最高性能の限界解像度を達成している。Inpriaのメタル系フォトレジストにより,顧客は製造で求められる低欠陥レベルを満たし,より微細な構造をパターニングすることができるとし,EUV工程でのパターニングのコストの大幅な削減に貢献するという。

JSRは,同社が成長を目指す半導体材料を含むデジタルソリューション事業およびライフサイエンス事業に注力し,今後の事業拡大を図る。今回の買収は,同社の最先端材料の製品ポートフォリオをさらに強固にするだけでなく,半導体製造の顧客やパートナーが技術革新を継続し,効率よく製造することを可能にする戦略的アプローチだとしている。

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