2021年05月11日

ナイトライド，マイクロUV-LEDの微細化に成功

著者： sugi

ナイトライド・セミコンダクターは，マイクロLEDディスプレーへの応用を目指す，マイクロUV-LEDチップの超微細化及び，量産技術の開発に成功したと発表した（ニュースリリース）。

マイクロLEDディスプレーは，液晶及び有機ELディスプレーの次世代ディスプレーとして，各国企業が開発に力を入れているが，これらの企業が取り組む，赤，青，緑のマイクロLEDチップを応用する方式では，特に赤色のLEDチップの50µm以下の微細化が困難となっている。

同社グループは，マイクロ紫外線（以下UV）LEDを使用して赤，青，緑色の蛍光体を励起する方式でディスプレー開発を進めており，実用化にあたって，マイクロUV-LEDチップのコスト削減が課題だった。

同社子会社のマイクロ・ナイトライドは，他社に先駆けて波長385nmのマイクロUV-LEDチップの開発に取り組んできた。従来のマイクロUV-LEDのチップサイズは，16μm×48μmで，チップの間隔は横方向10μm，縦方向30μmと広く，4インチウエハーから獲れる数量は約340万チップだった。

今回，開発したマイクロUV-LEDチップは，チップサイズが12μm×24μmと超微細で，チップ間隔は縦・横方向共5μmとなり，4インチウエハーから獲得できるチップ数は，約1400万チップと約4倍になり，1チップ当りのコストが従来チップの4分の1となったという。また，良好な電気特性を確認し，近い将来の実用化に向けて大きく前進したとする。

これにより，30万個のマイクロLEDチップを必要とする25mm角サイズのマイクロLEDディスプレーが，1枚のウエハーから11枚作製できることになるとしている（全てのチップをICドライバーで制御してフルカラー画面を表示）。

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