ナイトライド,マイクロUV-LEDの微細化に成功

ナイトライド・セミコンダクターは,マイクロLEDディスプレーへの応用を目指す,マイクロUV-LEDチップの超微細化及び,量産技術の開発に成功したと発表した(ニュースリリース)。

マイクロLEDディスプレーは,液晶及び有機ELディスプレーの次世代ディスプレーとして,各国企業が開発に力を入れているが,これらの企業が取り組む,赤,青,緑のマイクロLEDチップを応用する方式では,特に赤色のLEDチップの50µm以下の微細化が困難となっている。

同社グループは,マイクロ紫外線(以下UV)LEDを使用して赤,青,緑色の蛍光体を励起する方式でディスプレー開発を進めており,実用化にあたって,マイクロUV-LEDチップのコスト削減が課題だった。

同社子会社のマイクロ・ナイトライドは,他社に先駆けて波長385nmのマイクロUV-LEDチップの開発に取り組んできた。従来のマイクロUV-LEDのチップサイズは,16μm×48μmで,チップの間隔は横方向10μm,縦方向30μmと広く,4インチウエハーから獲れる数量は約340万チップだった。

今回,開発したマイクロUV-LEDチップは,チップサイズが12μm×24μmと超微細で,チップ間隔は縦・横方向共5μmとなり,4インチウエハーから獲得できるチップ数は,約1400万チップと約4倍になり,1チップ当りのコストが従来チップの4分の1となったという。また,良好な電気特性を確認し,近い将来の実用化に向けて大きく前進したとする。

これにより,30万個のマイクロLEDチップを必要とする25mm角サイズのマイクロLEDディスプレーが,1枚のウエハーから11枚作製できることになるとしている(全てのチップをICドライバーで制御してフルカラー画面を表示)。

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