Micro-Epsilon Japan,DUV専用センサーを発売

Micro-Epsilon Japanは,独Optocraftの新製品であるDUV光専用のシャックハルトマンセンサー「SHSLab DUV-110」の販売を開始する(会社HP)。

この製品は193nmまでのUV光の正確な波面計測が可能。266nm以下の波長の光源の精密計測をするために開発されたモデルで,12.1㎜角のディテクタ上で111×111個のマイクロレンズアレイを配置しており,高分解能な計測が可能となっている。

DUVに特化しているため,光源の計測から光学系の精密アライメント,光学部品の計測等,幅広くDUVのアプリケーションに対応し,精度よく安定した計測をすることができる。また,このモデルは共同開発をしたメーカーを皮切りに製造ラインでの採用が始まっているという。

ディテクタの感度が高く,微弱な光量でも計測が可能。また,従来通りOptocraft製「SHSWorks」を使用しており,波面計測において,非常に大きいダイナミックレンジと高いセンシティビティを両立した使い勝手の良い波面計測器だとする。

標準仕様はGiga Ethernetのインターフェースだが,オプションでUSB3.0タイプも選択可能。半導体製造装置,精密加工装置など193-266nmを使用する装置への製造現場での使用から,ビーム品質のモニタリング用の組み込みまで,様々な場面での使用が見込まれており,Optocraftが得意とする半導体製造装置等に使用されるレンズ,フィルタ等の光学部品の精密計測器への搭載も予定されているとしている。

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