三菱電機は，水平・垂直の2軸で走査する電磁駆動式MEMSミラーを搭載した，小型で広い水平視野角を持つ「MEMS式車載LiDAR」を開発した（ニュースリリース）。

車載LiDARは，ADASの高度化及び自動運転の実現に不可欠なキーデバイスとされ，その世界市場は年平均成長率170%と急速に成長しており，2025年度には約3,300億円に達するとの予測もある。

従来は，モーターで回転するミラーにレーザーを照射し，周囲の状況を計測する「機械式」が主流だったが，モーター駆動部の部品数が多くなることから小型化が難しく，高コストだった。また，モーターを常に駆動させるため，温湿度や振動などに対する耐久性も課題だった。

銅社は今回，水平・垂直の2軸で走査する電磁駆動式MEMSミラーを搭載した小型の「MEMS式車載LiDAR」を開発し，広い水平視野角下での高精細な3次元画像の取得を実現した。

車載LiDARで先行車両や歩行者などの高精細な3次元画像を取得するには，レーザー（送信光）を対象物に照射し，その反射光（受信光）をより多く集めることが必要となる。この
ため，光路に設置されるミラーの大型化やミラーの振れ角の拡張が求められる。

同社は今回，送信光と受信光のそれぞれを水平・垂直の2軸で走査する業界最大級の電磁駆動式MEMSミラー（7mm×5mm）を開発した。面ひずみを抑制する機能を持たせた独自のミラー構造を適用し，ミラー自体の軽量化を図るとともに，より高い駆動力が得られる電磁方式MEMSを採用し，広い振れ角（水平：±15°，垂直：±3.4°）を実現した。

MEMSミラーは，半導体加工技術によりシリコン基板上に多数個作成しており、量産性に優れる。また，モーターで駆動させる機械式に比べ，使用する部品点数が少なく，より高い耐久性が期待される。

さらに，電磁駆動式MEMSミラーと，光学部品（複数のレーザー光源，光検出器，レンズ等）の最適配置により光のケラレを抑制し，広い水平視野角（120°）を確保した光送受信機構を実現した。高精細な3次元画像を広範囲に取得できるため，前方を走行する先行車両，対向車両，路上横断中の歩行者，信号機，標識等の路側物を適切に検知することが可能となるという。

同社では今後，MEMSの梁構造を改良することにより，さらに広い振れ角（垂直：±6.0°以上）を目指すとともに，垂直視野角のさらなる拡大に向けた開発を進め，25°以上の垂直視野角を実現し，近距離の車両や歩行者の検知を目指す。

また，このLiDARは，信号処理回路基板，電源回路及び光送受信機構を最適配置することで，ライダー本体の小型化（900cc）を実現している。今後も小型化に向けた開発を進め，350cc以下の小型ライダーの実現を目指すとしている。