コヒレント，精密加工向けレーザーを発表

米コヒレントは，超精密切断加工向け産業用UVフェムト秒レーザー「Monaco UV」と，ピコ秒レーザー新プラットフォーム「HyperRapid NXT」を発表した（会社HP）。

「Monaco UV」は，従来に比べ3倍以上もHAZの少ない優れた加工結果を実現。優れた信頼性に加え，広く使われる材料において最適なアブレーションレート閾値を実現できるようパルスエネルギーと繰返周波数の最適な組み合わせ（20µJ/pulse@1.25MHz）を実現するよう設計されている。OLEDの切断やウェハー切断，ポリマー薄膜や箔の切断，フレックス回路やlow-kなどの材料加工に適しているという。

「HyperRapid NXT」は，ピコ秒レーザー（パルス幅<15ps）「HyperRapid NX」の新プラットフォーム。パルスエネルギーを一定に保ったまま，外部トリガー信号と同期し発振が可能となる独自技術「PulseEQ」を採用している。高精度なトリガー制御（ジッター約25ns）と先進のパルスエネルギー制御により，最新のスキャナーやステージとの高速な同期が可能となり，高速微細加工装置へ組み込む際の容易性が高まるという。

「Monaco UV」の主な特長は以下の通り。
・波長：345nm
・出力：>25W
・パルスエネルギー：>20uJ@1.25MHz
・パルス幅：>350fs
・繰返周波数：>2MHz

「HyperRapid NXT」の主な特長は以下の通り。
・出力／波長：
～30W@355nm
～30W，37uJ@2MHz@355nm（HRRモデル）
～50W@532nm
～100W@1064nm
・パルス幅：>15ps
・繰返周波数：シングルショット～最大4MHz
・最先端のパルスコントロール技術搭載