コヒレント,精密加工向けレーザーを発表

米コヒレントは,超精密切断加工向け産業用UVフェムト秒レーザー「Monaco UV」と,ピコ秒レーザー新プラットフォーム「HyperRapid NXT」を発表した(会社HP)。

「Monaco UV」は,従来に比べ3倍以上もHAZの少ない優れた加工結果を実現。優れた信頼性に加え,広く使われる材料において最適なアブレーションレート閾値を実現できるようパルスエネルギーと繰返周波数の最適な組み合わせ(20µJ/pulse@1.25MHz)を実現するよう設計されている。OLEDの切断やウェハー切断,ポリマー薄膜や箔の切断,フレックス回路やlow-kなどの材料加工に適しているという。

「HyperRapid NXT」は,ピコ秒レーザー(パルス幅<15ps)「HyperRapid NX」の新プラットフォーム。パルスエネルギーを一定に保ったまま,外部トリガー信号と同期し発振が可能となる独自技術「PulseEQ」を採用している。高精度なトリガー制御(ジッター約25ns)と先進のパルスエネルギー制御により,最新のスキャナーやステージとの高速な同期が可能となり,高速微細加工装置へ組み込む際の容易性が高まるという。

「Monaco UV」の主な特長は以下の通り。
・波長:345nm
・出力:>25W
・パルスエネルギー:>20uJ@1.25MHz
・パルス幅:>350fs
・繰返周波数:>2MHz

「HyperRapid NXT」の主な特長は以下の通り。
・出力/波長:
~30W@355nm
~30W,37uJ@2MHz@355nm(HRRモデル)
~50W@532nm
~100W@1064nm
・パルス幅:>15ps
・繰返周波数:シングルショット~最大4MHz
・最先端のパルスコントロール技術搭載

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