ウシオ,CNF透明シート上へ微細パターニングに成功

ウシオ電機と王子ホールディングス(王子HD)は,ウシオ製プリンタブルパターニング用光源ユニット 「VUVアライナー」を用いて,王子HDが開発するセルロースナノファイバー透明シート(CNF透明シート)「アウロ・ヴェール」上への微細パターン形成に成功した(ニュースリリース)。

アウロ・ヴェールは,ガラス並みの高い透明度を持ちながら,フレキシブル性を有し,プラスチックフィルムより高強度で高温下においても優れた低熱膨張性(高寸法安定性)を示すという。天然由来の木質パルプから作られているため,サスティナブルな社会を実現するための素材として期待されている。

VUVアライナーは,ウシオが2014年に世界で初めて開発した真空紫外光による親水化パターニング方式のアライナーで,従来のリソグラフィプロセスで必要な薬液処理や複雑な工程を必要とせず,また印刷方式のパターニングでは得られない微細パターン形成を実現する。

今回,高い親水性とフレキシブル性を有するアウロ・ヴェールでの親水化パターニングの結果,通常のパターン幅である50~100μmよりも高解像度な,L/S=10/10μmの微細パターニングに成功した。同社は今後さらなる機能性を付与することで,ウェアラブルセンサー,有機トランジスタ,バイオデバイス等への実現が期待できるとしている。

なお,5月22日~23日にグランドホール品川で開催される「FLEX Japan 2019」および6月5日~7日に東京ビッグサイトで開催される「JPCA Show 2019」の同社ブースにて,微細パターンを形成したCNF透明シートのサンプル展示をする。

その他関連ニュース

  • 東大,実用的な塗布型TFTの構築に成功 2021年10月13日
  • 阪大ら,光照射でフレキシブル集積回路特性を制御 2021年09月22日
  • 東大,最薄の皮膚貼り付け電極で1週間心電計測 2021年09月17日
  • 府大ら,ゲルでがんの迅速透明化と3次元蛍光観測 2021年08月03日
  • EVG,NIL向け製造サービスを開始 2021年08月03日
  • 芝工大,安価なウェアラブル体温発電素子を開発 2021年07月20日
  • シャープ,ウェアラブル超小型近接センサを量産 2021年07月19日
  • 産総研,透明酸化物電極の高性能化に知見 2021年07月09日