超高精度光変位センサー

高精度タイプの構造

超高精度タイプの構造

太陽誘電は，最高で±1.5nmの変位を検出する光変位センサーを開発し，IT・エレクトロニクス総合展「CEATEC」に参考出品した。

このセンサーは赤色レーザーを光源とし，ステージの上下を貫通する光路上に光学素子を置き，ステージの動きによってこの光学素子を通る光のコントラストの変化を検出する。同社のCDで培った技術を応用した。

高精度タイプ（精度±100nm）と超高精度タイプ（精度±1.5nm）があり，超高精度タイプは光路を折り返すような形にすることで感度を上げている。

超高精度タイプのヘッドサイズは50×30×10mm。ロードセルとして用いればひずみゲージよりも高精度・高応答性が得られるという。同社では精密はかりの他，高精度なトルクセンサー，圧力計などに利用できるのではないかとしている。

来春より生産を開始する予定で，カスタマイズにも対応する。