日立ハイテク,エネルギー分散型蛍光X線分析装置を発売

日立ハイテクノロジーズの100%子会社で,分析計測装置を製造販売している日立ハイテクサイエンスは,独SPECTRO Analytical Instruments GmbH(スペクトロ社)製のエネルギー分散型蛍光X線分析装置「SPECTRO XEPOS(スペクトロ ゼポス)」を8月31日より日本国内で発売する(ニュースリリース)。

エネルギー分散型蛍光X線分析装置は,試料にX線を照射して試料から発生する蛍光X線を検出し,そのエネルギーと強度から含有元素の定性と定量を行なう装置。非破壊かつ容易に測定が可能であり,装置の大きさも比較的コンパクトという特長がある。また近年,環境保全の高まりや工業材料の高度化に伴い,幅広い試料に対してより高感度,高精度な分析ニーズが増えている。

この製品は新たに開発されたX線励起システムと最大100万cpsの高計数率検出器を搭載し,感度を同社製従来機と比較して10倍以上に高めた。また従来から定評のあった定量ソフトウェア(TurboQuant)も,精度と操作性がさらに向上している。これらにより液体や粉体,固体サンプルの主成分元素から極微量元素まで,幅広いアプリケーションで高感度・高精度な分析を実現する。

この製品はX線励起システムの異なる4タイプをラインアップしている。標準機として,蛍光X線を低~高エネルギーまで効率的に励起するPd/Co合金アノード3X線管球を搭載した「Dタイプ」。偏光光学系4を搭載し,軽元素の微量分析をより高精度で実現する「Cタイプ」。バンドパスフィルターを搭載しカリウムからマンガンなどの元素に対して,より高精度な分析(高強度測定)を行なう「Pタイプ」。そして,重元素に対しより高い励起効率を有する60kV高出力仕様の「HEタイプ」の4タイプ。測定ニーズに合わせて最適な1台が選択できる。

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