TED,光コム方式三次元形状測定器を発売

東京エレクトロンデバイス(TED)は,光コムと共同開発した光コム方式の三次元形状測定器「OPTED」の販売を2016年6月16日に開始する(製品ページ)。

精密加工部品の設計・製造現場における形状測定の効率化ニーズに対して,光学技術を応用した様々な方式の非接触式三次元測定器の導入が急速に進められているが,いずれの方式も,精度(再現性),範囲(深度),速度(形状依存性)などの性能面で一長一短という状況が続いていた。

販売を開始する三次元形状測定器「OPTED」は,光源に「最も精確な光のものさし」として知られる光コムを採用することで,これらの課題を一気に解決するとしている。

従来方式のように,対象物からの反射光や干渉光が最大強度となるポイントを得るためのレンズやミラー,ステージの移動といった機械的な操作を一切行なわず,電気的な処理だけで高さ寸法を高精度に数値化できることから,対象物の形状に関係なく常に高速な測定が可能となる。 例えば,測定エリアが200mm四方を超えるような対象物に対しても,数十秒で測定が完了するという。

高深度タイプとしてラインナップしている「OPTED-L80」は,300mm四方までの横軸エリアに対応するロボットステージに加えて,高さ方向の測定深度の範囲が最大で130mmと従来製品の10倍程度にまで広がり,これまで一括測定が不可能であったような凹凸度合いの大きい立体形状物にも対応する。

また,ワーキングディスタンス(測定ヘッド先端から対象物までの距離)が140mm確保できることから,測定条件や障害物などの要因で測定ポイントに測定ヘッドを近づけられないような状況にも適用の可能性が広がる。

装置のコアユニットである光源部に対して,測定ヘッドを最大8個まで増設可能なことから,測定ヘッドを並列に増設してスキャン幅を拡張することによる更なる高速化や,多軸化による測定視野の追加といった機能アップを容易に実現することが可能。

また,測定ユニット,測定ヘッド,ロボットステージがそれぞれ独立しているため,スタンドアロン型に留まらず, インライン測定への組込みなどにも柔軟に対応できるとしている。

想定するアプリケーションとして,あらゆる製造業における三次元形状の測定・検査市場,・自動車・航空・宇宙関連の外装,エンジン部品,ドライブ・トレインなど・金属やセラミック等を原料とした金型・その他,樹脂,ゴム, ガラス,プラスチック,複合素材などを含む,精密加工品全般がある。

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