東海光学は，ハイパワーNd:YAGレーザ用のガルバノミラーや干渉計測機器向けミラーの成膜後の面精度を保証する技術を確立した。

従来から，基板に膜を成膜すると膜応力によって表面が変形することが知られている。こうした応力により，反射したビームが広がったり，波面が変化するといった影響が出る。この応力の問題を如何にして抑えるかがポイントになる。

同社は，成膜後に発生する応力を補正する技術を開発。実証試験では基準波長632.8nmにおいて，φ30×3ｍｍtの基板の反射波面精度をλ/10以下にすることに成功した。また，レーザ損傷閾値は134J/cm²となっており，高耐性の設計を施した。

今後は3ｍｍ以下の薄基板に対して補正技術を適用するなど，さらなる開発に取り組むとしている。