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東芝,超低消費電力水素センサーを開発

東芝は,検知速度を落とすことなく,従来の約100分の1以下の低消費電力で水素ガスを検知する水素センサーを開発した(ニュースリリース)。 センサー膜にパラジウム系金属ガラスを用いた独自のMEMS構造を採用することで,従来ト […]

東芝,スピン型ひずみ検知素子を開発

東芝は,IoTで用いられるMEMSセンサー向けに,従来の金属ひずみゲージの2500倍,半導体ひずみゲージの100倍以上の超高感度スピン型ひずみ検知素子を開発した(ニュースリリース)。 また世界で初めて,スピン型ひずみ検知 […]