光周波数コムを用いた物体の運動に関する超精密計測と校正法
1. はじめに 筆者は2017年より精密工学の分野で，特に物体の運動や形状に関する精密計測に関する研究を行っている。本稿では，物体の運動計測に関して，特に回転運動の計測について述べる。例えば半導体製造はいまやナノメートル...
2024.11.10新着ニュース
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